扫描电镜是用于样品形貌表征，成分分析的高精尖仪器，能够帮助各个方向的科研人员及技术工作者探索揭秘丰富的微观世界，扫描电镜广泛应用于材料、生物、冶金、食品等行业领域。

　　它通过电子束在样品上进行逐点扫描，获得三维立体图像，图像观察视野大、景深长、富有立体感。而功能再强大的仪器，如果不能按照正确的方法去操作使用，也不能发挥出仪器的价值，甚至会损坏样品和仪器本身。

　　使用蔡司扫描电镜这样的高精密仪器，掌握正确的操作方法及良好的操作习惯意义非常重要，不仅是因为仪器价格昂贵，维修复杂，更是为了得到理想的试样图像及成分数据，本文就来介绍一下扫描电镜通的操作方法以及一些注意事项，希望每个接触扫描电镜的科研人，或是仪器人都能掌握扫描电镜的操作的技巧，充分利用仪器的价值，实验和研发都能事半功倍!

　　扫描电镜的基本操作流程

　　开机(电源开关和准备开关均为打开状态)

　　■开水(系统不报警方可);

　　■开扫描电镜总电源;

　　■电气柜后面开关打开，将自动/手动(AUTO/MAN)开关拔到自动(AUTO)的位置，此时电炉进行加热:

　　■抽真空30分钟后， 断开准备开关;

　　■开扫描电镜系统软件;

　　■打开主机前面面板上的电气柜开关，抽真空10分钟。

　　准备观测图像

　　■打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置;

　　■加高压(30KV)导电性不好的产 品(20-25KV),加高压时Z好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值;

　　■调节扫描电镜对比度和亮度:

　　①调节对比度，使图像上出现- -些噪声为Z佳，一般情况下在60左右;

　　②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右;

　　■加灯丝:顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右;

　　■机械对中:扫描电镜每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点;

　　■物镜光阑对中(合轴):

　　①选区，并挑选图像上的-一个特征点;

　　②选择放大倍数1 000-2000范围;

　　③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动;

　　④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动Z小为止;

　　系统停机

　　■关闭扫描电镜加热灯丝:逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在"ON"的位置，束流显示的束流为0UA;

　　■将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0;

　　■关闭V1阀:用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1 阀的阀杆，确保V1阀完全关闭;

　　关闭扫描电镜主机面板.上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。

　　关闭系统软件-关电气柜开关-关总电源→关水。

　　要获得一张清晰的扫描电镜照片，必须要能够做好基本的电镜操作、以及针对各种样品做出工作条件的优化。