德国卡尔蔡司凭借其新的三坐标测量机ZEISS XENOS设立了精度的新标准：其长度测量误差仅为0.3微米，从而提供了较高的精度。蔡司XENOS在德国斯图加特的CONTROL展会上正式推出。该三坐标测量机用于要求较高精度的应用场合和参考实验室。

　　蔡司XENOS三坐标测量机的产品经理Konrad Werner先生解释说：“所有标准测量机只能优化到一定水平。这种潜力迟早会耗尽。” 因此，这台机器是新发展。蔡司通过使用创新的技术和材料，代表了准确性和面向未来。它的测量范围约为一立方米。蔡司的工程师采用了一种新的开发方法，以便在提高测量速度的同时，为该测量体积设定新的精度标准。减轻重量和不断移动的质量共同实现了驱动器在加速和较大速度方面的较佳协调。

　　与其他系统不同，蔡司XENOS三坐标测量机在所有轴上都使用线性驱动器，而不是摩擦驱动器。Werner先生说：“这提供了明显的好处，例如非常快的加速和通常的高速，以及很高的定位精度和无剪切力的驱动器。” 由于总体构思，一次有可能使导轨和测量系统的线性驱动器的力传递脱开。考虑到蔡司XENOS上的高分辨率标尺，新的驱动技术带来了非常高的路径附着力和明显低于100纳米的较高定位精度。测量曲面时，非常高的路径附着性的一个好处是显而易见的：“手写笔越可靠和准确地遵循指定的路径，就可以更准确地确定错误，”

　　蔡司一次将创新的碳化硅陶瓷用于与精度相关的机械结构零件。与白色标准陶瓷不同，黑色碳化硅陶瓷的热膨胀降低了约百分之50，刚性提高了百分之30，重量减少了百分之20。与钢相比，它以一半的重量提供了两倍的刚度。

　　蔡司XENOS三坐标测量机还具有许多其他创新功能。这包括对蔡司VAST金参比探针的增强及其较佳集成，以实现更高的准确性和可重复性。但是，精度的基础在于Zerodur秤的热膨胀几乎为零。Werner先生补充说：“我们使用蔡司XENOS的方法是毫不妥协地推动机械精度。” 目的还在于消除磁滞影响，并仅在一点使用计算机。

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