XENOS，此名字令人一下子联想到超级英雄。鉴于新的ZEISS坐标测量机的度和动态特征正在步入创新的更技术域，超级英雄的形象对XENOS来说是如此恰如其分。ZEISS测量机XENOS的长度测量误差竟达到0.3微米-该度等级于同类机器中达到了无仅有度。

ZEISS一直不断地推动接触式测量的技术限，采用的系统包括ZEISSPRISMO、ZEISS UPMC ultra或ZEISS F25。今天，他们在世界各地的国家机构中已作为样板机使用。
每立方0.3微米
在大约一升的测量体积上，ZEISS的F25只能测量小型工件。与之相较，ZEISS XENOS提供的测量范围大约为一立方米（900*1500*-700mm）。ZEISS的工程师们在研发XENOS时突破传统，采用新的方法，为这种测量体积设置了新的标准，同时也大地提了测量速度。所有的标准测量只能化到某个水平上。这种可能性迟早会用尽，ZEISS XENOS的生产经理Konrad Werner解释。ZEISS XENOS是蔡司新的创新产品，由于积采用创新技术和创新材料，使他不仅代表了的度水平，同时也是未来长期使用的保证，同时大地推动了技术限的向前发展。
乍一看，新型测量机就与以前的级型号ZEISS PRISMO ultra有明显的区别。这种机械概念来自于成功ZEISS CenterMax内联系统：自2001年以来，参考机就已经用于生产测量技术。固定的侧壁能够保证整个系统具有足够的稳定性。因为在Y方向只有上横杆，因此减少了移动重量，也就是说与工件移动的方式相比，这样的设计保证了更的运行稳定性。同时，重量的减少和不变的移动质量，使驱动装置的加速度和大速度具有佳协调性。
虚拟的CEN驱动
与其他的系统不同，ZEISS XENOS在所有的轴上都采用直线驱动，而不是摩擦驱动。到目前为止，直线驱动在测量机上的使用仍属无仅有。其点在于：速度、加速度快、定位度、驱动无剪切力。由于整体设计的创新型概念，从而次降低了导轨和测量系统直线驱动器之间的力传递。加之ZEISS XENOS分辨率光栅尺的势，新的驱动器技术提供的路径跟踪能力以及的、低于100纳米的定位度。例如，探针的偏差保持更加恒定，从而保证了更的度。另一个好处是测量曲面时表现的非常的路径跟踪能力：探针更加可靠准确地按指定路径移动，可以更加确地识别错误。
拥有30年确驱动器丰富经验的蔡司，现在引进了虚拟驱动器这项专利。全新纳入由新一代的控制器和运输法则启用的动态质量分布功能。