XENOS采用了全新的机械设计理念。与标准桥式测量机不同:Y导轨分布于侧壁部,分离式移动行程轴仅横梁于Y轴方向移动,更小及恒定的移动重量——与移动式平台相比堪称的势。更低及恒定的移动重量造就了加速及速度的良好统一。 所有轴均采用线性驱动 XENOS的所有轴均采用线性驱动。其点:速、加速快、定位度、驱动无剪切力影响。结合超分辨率光栅尺技术,XENOS的线性驱动可获得度稳定性及低于100纳米的定位度。例如,测针偏移量越恒定,即可获得更佳的测量度。于测量曲面时更显见另一势:测针的移动路径与预定值越吻合,即可实现越良好的确性。 虚拟驱动 XENOS于Y轴向配备双线性驱动系统,得益于蔡司新的驱动技术可实现佳的同步控制。该技术可据X轴位置良好分布驱动力。作为新控制系统及算法之良好结合,这是在整个测量范围内获得佳测量度及运动稳定性的关键因素。 碳化硅陶瓷 XENOS在与度密切相关的机器部件上采用创新的碳化硅陶瓷材料。迄今为止,该材料从未在类似产品或度的测量机器上使用。与常规陶瓷相比,碳化硅陶瓷的热膨胀性降低约50%,而刚性则可大提升30%,同时减重20%。与钢材相比,碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可获得两倍的刚性。 加强型VAST gold XENOS采用蔡司VAST gold测量探头。在研发过程中,蔡司在测量度和测量重复度方面对该探头进行了化。XENOS也采用了新型刚性连接。VAST gold探头可与大长度为800毫米的测针以及大重量为500克的测针配套使用,包括非对称型测针。 化的气浮轴承 全新强化处理气浮轴承具有更佳的稳定性及测量度。 改进的电子设计 通过全新的电子设计,移动线缆对度影响显著降低。计算机辅助度修正(CAA)法和特殊附加CAA修正技术在获得大测量度的过程中扮演着日趋重要的作用。
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